BAG402 中真空至超高真空真空計選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。*的雙絲極結構提供更優異的精度、長期穩定性 和長使用壽命。
| 更新時間:2024-01-18 | 廠商性質:代理商 |
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BAG402 中真空至超高真空真空計
INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402，測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。*的雙絲極結構提供更優異的精度、長期穩定性 和長使用壽命。
益處
測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
出色的可重復性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%
過壓檢測保護，防止燈絲燒毀
兩根長壽命氧化銥燈絲
發射電流選擇，降低控制的繁瑣
植入校準數據的傳感器元件可確保規管的高精準性，并且易于更換
符合RoHS
典型應用
半導體工藝和傳送腔室的壓強測量
工業鍍膜
從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制
類型 BAG402
測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重復性
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓強, zui大 bar (absolute) 2
溫度
操作 (環境) °C 0 … +50
儲存 °C -20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元 °C 80
供電電壓 +20 … +28
輸出信號模擬 (4)
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 log / lin V 0 … +9
電壓 vs. 壓強 volts per decade 1
錯誤信號 V > +10
負載阻抗, zui小 k? 10
第二模擬輸出 none
設點繼電器
設定點數量 none
范圍
繼電器觸點
滯后
觸點額定值
數字功能 degas and emission
接口 (數字) (2) Diagnosis port
發射控制 manual
燈絲 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態 / 繼電器 LED / relay
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male
電纜長度，zui大值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護級別 IP30
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484 備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R
